Technologia pomiaru próżni jest kluczowym elementem nauki i technologii próżniowej, wraz z rosnącymi wymaganiami zarówno w sektorze obronnym, jak i cywilnym. Dokładny pomiar podciśnienia jest szczególnie ważny. Wakuometry są szeroko stosowane w produkcji przemysłowej, sprzęcie półprzewodnikowym, przemyśle nuklearnym i innych dziedzinach. Do światowej sławy producentów wakuometrów zaliczają się MKS Instruments i INFICON. Istnieją dwa popularne typy wakuometrów w zależności od zasady działania: jeden to wakuometr pojemnościowy metalowy, reprezentowany przez podejście techniczne firmy MKS, i drugi to wakuometr pojemnościowy ceramiczny, reprezentowany przez podejście techniczne firmy INFICON. Ogólnie rzecz biorąc, wakuometry pojemnościowe metalowe oferują lepszą wydajność niż modele pojemnościowe ceramiczne, co czyni je szerzej stosowanymi.
Element czujnikowy metalowego wakuometru pojemnościowego składa się ze struktury pojemnościowej utworzonej przez metalową membranę o grubości około 40 μm i elektrodę ceramiczną. Jak pokazano na powyższych rysunkach, przed spawaniem metalowa membrana jest rozciągana z dużą siłą rozciągającą, tworząc konstrukcję zdolną wytrzymać ciśnienia przeciążeniowe do setek razy przekraczające zakres znamionowy. Kiedy na membranę działa podciśnienie, ulega ona odkształceniu, zmieniając pojemność pomiędzy metalową elektrodą membranową a elektrodą ceramiczną. Mierząc tę zmianę pojemności i kalibrując ją względem standardowych wartości odniesienia podciśnienia, można określić bezwzględną wartość próżni. Aby poprawić dokładność pomiaru, we wnęce umieszcza się getter.
Firma Xi'an Mihui Technology Co., Ltd. niezależnie opracowała wakuometr VG750, osiągając wydajność porównywalną z produktami MKS i INFICON. Obejmuje zakres pomiarowy od 1 Torra do 1000 Torr i jest szeroko stosowany w zastosowaniach wsadowych w przemyśle półprzewodników i nuklearnym. Specyfikacje wydajnościowe podano w poniższej tabeli. Zainteresowane strony zapraszamy do kontaktu w celu wypróbowania rozwiązania.
Aby uzyskać więcej informacji, odwiedź naszą stronę internetową:mihuitec.com lub sprawdź stronę produktu: Chiny VG750 Metalowa membrana pojemnościowa Producenci Dostawcy Fabryka - Oferta - Mihui Tech.
